Лабораторный вакуумный плазменный очиститель объемом 25 л с 7-дюймовым сенсорным экраном ПЛК.

Введение в продукт

NE-PE25H Вакуумная плазменная очистительная машина Идеально подходит для университетских исследовательских лабораторий, научно-исследовательских центров предприятий и мелкосерийного производства. Оснащенная квадратной вакуумной камерой из нержавеющей стали, изготовленной с использованием сварки военного класса, интегрированными двухслойными электродами, двумя независимыми газовыми каналами и передней открывающейся конструкцией с задней циркуляцией отработанного газа, машина обеспечивает равномерный забор газа и превосходную коррозионную стойкость. Удобный сенсорный экран поддерживает мониторинг параметров в реальном времени, позволяет сохранять многогрупповые технологические рецепты с полной отслеживаемостью данных и исключает необходимость в дополнительном газосмесителе для тестирования различных соотношений газов.

Эта плазменная система значительно повышает адгезию и гидрофильность подложки, обеспечивая стабильную и воспроизводимую обработку для основных процессов, включая очистку от органических загрязнений, модификацию поверхности на гидрофильные/гидрофобные свойства, прецизионное микротравление, склеивание микрофлюидных чипов из ПДМС и удаление фоторезиста. Она широко применяется в процессах склеивания материалов, нанесения покрытий, осаждения пленок на подложки и во всех видах исследований новых полупроводниковых материалов.

Применение продукта

Характеристики продукта

1. Вакуумная камера из нержавеющей стали, изготовленная с использованием сварки военного класса, отличается превосходной герметичностью и отличной коррозионной стойкостью.

2. Встроенные два слоя электродов и многослойные технологические лотки значительно улучшают использование пространства.

3. Удобный сенсорный интерфейс, отображающий параметры процесса в режиме реального времени.

4. Поддерживает сохранение нескольких технологических рецептов для вызова одним щелчком мыши, с полностью отслеживаемыми данными о работе.

5. Оснащен двумя независимыми газовыми каналами; не требует дополнительного смесителя газов, удобен для тестирования различных составов газовых смесей.

6. Конструкция с открывающейся спереди дверцей и задним выхлопом обеспечивает внутреннюю динамическую циркуляцию газа. Равномерный приток воздуха гарантирует стабильные результаты очистки.

Схема расположения оборудования и диаграмма вакуумной камеры.

 

 

Технические характеристики

 

Нет.	Категория	Спецификация	Параметр
1	Генератор плазмы	Власть	0–1000 Вт, плавная регулировка.
		Частота	40 кГц
2	Вакуумная реакционная камера	Материал камеры	Импортная зеркальная нержавеющая сталь марки 316 с защитным покрытием военного класса.
		Объем камеры	380 (Ш) × 390 (Г) × 170 (В) мм; 25 л
		Эффективное пространство обработки	333 (Ш) × 320 (Г) мм
3	Разрядные электроды	Электроды	3 электрода из специального высокопроводящего алюминиевого сплава.
		Слои обработки	2 слоя
		Режим разряда	Емкостной связанный плазменный реакционный разряд CCP
		Расстояние между положительными и отрицательными электродами	50 мм
		Зазор между лотком и поддоном	30 мм
4	Управление газовым трактом	Регулятор массового расхода	300 SCCM
		Проектирование газовых контуров	Двусторонняя равномерная конструкция воздухозаборника обеспечивает стабильные результаты очистки и травления.
		Газовые каналы	2 газовые линии, совместимые с O₂₂, Ар, Н₂, H₂, и т. д.
			(Сообщите нам заранее, если потребуется коррозионный газ)
5	Измерение вакуума	Система измерения вакуума	Диапазон измерения: 5×10⁻² ~ 1,0×10⁵ Па
			Точность измерения: 0,1 Па
6	Насосная система	Вакуумный насос	16 м³/ч
		Вакуумный трубопровод	Трубы из нержавеющей стали + пневматические клапаны
7	Система управления	Режим управления	ПЛК
		Сенсорный экран	7-дюймовая сенсорная панель
		Программное обеспечение	Разработанная собственными силами запатентованная система управления плазмой
8	Условия на площадке	Источник питания	220 В, 50/60 Гц, 13 А
		Соединитель газопровода	Φ6 мм
		Требуемая чистота газа	99,99%
		Давление газа на входе	0,3–0,6 МПа
		Выпускной патрубок	фланец KF25
9	Общие технические характеристики машины	Габаритные размеры	650 мм (Д) × 649 мм (Ш) × 666 мм (В)
		Вес нетто	80 кг
		Общее энергопотребление	3 кВт

 

Условия эксплуатации (материалы, которые должны быть подготовлены заказчиком)

 

Нет.	Элемент	Требования
1	Состояние электроснабжения и электросети	Входное напряжение: 220 В, 50/60 Гц; допустимые колебания напряжения в сети ±10%. Защитный заземляющий провод должен соответствовать международным стандартам. Вблизи места установки оборудования не должно быть сильных электромагнитных помех.
2	Условия окружающей среды при установке	Температура окружающей среды: 0–40 °C; относительная влажность: 15–60%.
3	Подготовка источника газа	Газовые баллоны с кислородом, аргоном, азотом, водородом и т. д. (должны быть оборудованы редукционными клапанами). Давление газа на входе > 0,3 МПа; Диаметр газового фитинга: Φ6 мм.
4	Вытяжной канал	Подсоедините к выпускному патрубку вакуумного насоса (обязательно для использования в чистых помещениях).