Измельчитель вафель

Шлифовальный станок HY-WT9330 оснащен одним шлифовальным шпинделем с пневматическими подшипниками и двумя шпинделями для заготовок с пневматическими подшипниками. Он может обрабатывать различные сверхтвердые, хрупкие и трудношлифовываемые подложки размером до 12 дюймов, обеспечивая высокоэффективную, без повреждений и сверхточную зеркальную шлифовку с исключительной точностью толщины, подходящую для процесса утонения обратной стороны всех типов кремниевых пластин.

Станок HY-WT9530 оснащен двумя шпинделями на воздушных подшипниках и тремя вакуумными зажимными столами для обработки твердых хрупких подложек диаметром до 8 дюймов. Операторам достаточно вручную загружать кассеты, в то время как станок выполняет полностью автоматические циклы, включая черновую/тонкую шлифовку, очистку и восстановление. После шлифовки достигается толщина пленки ≤1,5 ​​мкм с превосходной плоскостностью и шероховатостью поверхности, что делает его подходящим для истончения обратной стороны различных полупроводниковых пластин.

Станок HY-WT9730 поддерживает обработку пластин диаметром до 12 дюймов. Оснащенный 3 шлифовальными шпинделями с пневматическими подшипниками и 4 шпинделями с пневматическими подшипниками для заготовок, он объединяет процессы черновой, тонкой шлифовки и полировки. Полностью роботизированный рабочий процесс автоматически выполняет перенос, обработку, очистку и выгрузку пластин; требуется только ручная подача кассет. Сверхточная подача по оси Z обеспечивает превосходную плоскостность пластин и зеркальную полировку без повреждений, а прочная рама гарантирует стабильное массовое производство.

Станок HY-WT9230 разработан для обработки сверхтвердых хрупких полупроводниковых материалов размером до 12 дюймов. Оснащенный двумя шпинделями на воздушных подшипниках и высокоточной шлифовальной осью Z, он обеспечивает полностью автоматическое утонение зеркал с высокой эффективностью и без повреждений. Благодаря вакуумному патрону с пористым сердечником и сверхточной подаче, станок гарантирует превосходную плоскостность и равномерность толщины при утонении полупроводниковых пластин.

HY-IS1000 — это двухпозиционное оборудование для лазерной резки и шлифовки слитков SiC, сочетающее в себе процессы лазерной модификации и расслоения пластин. В нем используется сверхкороткоимпульсный лазер для формирования внутренних модифицированных слоев внутри слитков SiC, что обеспечивает расщепление пластин без следов пилы и высокую производительность с толщиной шлифованной пластины ≤1,1 мкм. Это незаменимое оборудование для массового производства полупроводниковых подложек третьего поколения.

HY-WC615 станок для снятия фаски с двух сторон вафель Оснащен модулями позиционирования с ПЗС-матрицей и онлайн-измерения толщины, собственными разработками основных механических компонентов и полностью автоматической системой загрузки/выгрузки, что обеспечивает исключительную точность обработки и удобное сенсорное управление при обработке фасок пластин.

Прибор HY-ST3005 предназначен для высокоточной обратной тонкослойной обработки твердых хрупких полупроводниковых подложек размером от 4 до 12 дюймов. Благодаря итеративной модернизации, обеспечивающей превосходную точность и долговременную стабильность, станок оснащен высококачественными основными узлами (шпиндель с гидростатическим воздушным подшипником, высокоточный шпиндель для пластин, высокопрочный поворотный стол большого диаметра) и отличается высокой степенью автоматизации для массового производства кремниевых и полупроводниковых пластин.

Станок HY-ST3002 предназначен для прецизионной шлифовки и утонения твердых хрупких полупроводниковых пластин диаметром от 4 до 12 дюймов. Полностью модернизированный с использованием отработанных технологических процессов, он отличается повышенной точностью и стабильной работой в течение длительного времени, а также усовершенствованной архитектурой автоматического утонения и высококачественными ключевыми компонентами: гидростатическим шлифовальным шпинделем с воздушными подшипниками, гидростатическим шпинделем для удержания пластин с воздушными подшипниками и высокопрочным поворотным столом большого диаметра.