Плазменный очиститель атмосферного типа с прямой струей для предварительной обработки и активации поверхности при упаковке интегральных схем.

Введение в продукт

HY-AD03 Атмосферный Прямой Струйный плазменный очиститель Это установка для обработки поверхностей атмосферной плазмой, предназначенная для очистки, активации и модификации заготовок. Благодаря компактной зоне обработки и концентрированной энергии, она оптимизирует адгезию, гидрофильность и пригодность для печати полупроводниковых подложек, одновременно удаляя органические остатки, масляные пятна и оксидные слои без повреждения прецизионных микросхем.

Разработанная с использованием оборудования военного класса, работающего в диапазоне температур от -25℃ до 50℃, она обеспечивает среднее время безотказной работы (MTBF) 190 000 часов при 25℃ в соответствии со стандартом MIL-HDBK-217F для работы в суровых производственных условиях. Благодаря чипу ST ARM, разработанное программное обеспечение обеспечивает автоматическое согласование энергопотребления, многомерный мониторинг данных в реальном времени и двойную связь по аналоговому и RS485 каналам. Двойное локальное и удаленное управление обеспечивает бесшовную интеграцию в автоматизированные линии упаковки микросхем.

Применение продукта

Характеристики продукта

1. Конструкция, соответствующая военным стандартам, с широким диапазоном рабочих температур от -25℃ до 50℃. Соответствует стандарту MIL-HDBK-217F, среднее время безотказной работы достигает ≥190 000 часов при 25℃, что делает его подходящим для различных суровых производственных условий.

2. Цифровая система управления с дисплеем для мониторинга в реальном времени и высокой помехоустойчивостью.

3. Оснащенный чипом ST ARM, он поддерживает удаленную отладку и связь для бесшовной интеграции в различные производственные линии. Собственное интеллектуальное программное обеспечение обеспечивает автоматическое согласование питания для стабильной работы.

4. Поддерживает аналоговый интерфейс связи и удаленную связь по протоколу RS485.

5. Многомерное обнаружение в реальном времени: температура, давление воздуха, напряжение дуги трансформатора, пиковый ток первичной обмотки трансформатора и ток сети.

6. Комплексные функции защиты: защита от перегрева, перегрузки, короткого замыкания, обрыва цепи, утечки тока и неправильной эксплуатации.

Схема размеров изделия

 

 

Технические характеристики

 

Элемент	Параметр
Название продукта	Атмосферный плазменный очиститель прямого действия
Номер модели.	HY-AD03
Диапазон выходной мощности	300–1200 Вт (регулируемая мощность), точное управление мощностью с исключительной стабильностью.
Ширина обработки	2–10 мм
Высота лечения	5–15 мм
Скорость обработки	10–300 мм/с
Расход воздуха	50 л/мин при 0,1 МПа; 85 л/мин при 0,2 МПа
Длина высоковольтного кабеля	3,5 м
Точность выходной мощности	±1%
Тип управления	Цифровое управление
Габаритные размеры	WDВысота: 244 мм479 мм310 мм
Вес факела	2 кг
Вес машины	20 кг
Входной источник питания	220 В переменного тока ± 20%, 50–60 Гц
Режим управления работой	Локальное управление и дистанционное управление
Удаленный интерфейс связи	Аналоговый сигнальный интерфейс, удаленная связь по RS485.
Коэффициент мощности	95%
Диапазон входного давления воздуха	0,4 МПа ~ 0,6 МПа, допуск ±20%
Диапазон выходного давления воздуха	0,1 МПа ~ 0,2 МПа, допуск ±20%
Конструкция платы питания	Модульный
Помехоустойчивость	Отличный
Элементы мониторинга данных	Давление воздуха, температура материнской платы, напряжение дуги трансформатора, рабочий ток, рабочее напряжение, фактическая выходная мощность, потребляемая мощность, рабочая частота, коэффициент мощности.
Типы неисправностей сигнализации	Короткое замыкание, обрыв цепи, перегрев, сбой давления воздуха, перегрузка по току в системе, пониженное напряжение в системе, повышенное напряжение в системе, обрыв высоковольтного выхода, короткое замыкание высоковольтного выхода, неисправность входного переменного тока, неисправность фонаря
Режимы оповещения о тревоге	Звуковой сигнал + всплывающее напоминание на сенсорном экране

 

Технические характеристики завода-изготовителя

 

Элемент	Требование
Технические характеристики блока питания переменного тока	Источник питания: однофазный переменный ток 220 В, 50/60 Гц, 11 А; сопротивление заземления менее 4 Ом.
Заводская выхлопная система	Расход: 5 м³/мин
	Материал: Коррозионностойкий материал
Требования к сжатому воздуху на заводе	Сухой, безмасляный и безводный сжатый воздух
	Диаметр трубы: 8 мм
	Материал трубы: полиуретановая трубка
	Диапазон давления: 0,4–0,6 МПа