Что Вы ищете
?
HY-IS1000 — это двухпозиционное оборудование для лазерной резки и шлифовки слитков SiC, сочетающее в себе процессы лазерной модификации и расслоения пластин. В нем используется сверхкороткоимпульсный лазер для формирования внутренних модифицированных слоев внутри слитков SiC, что обеспечивает расщепление пластин без следов пилы и высокую производительность с толщиной шлифованной пластины ≤1,1 мкм. Это незаменимое оборудование для массового производства полупроводниковых подложек третьего поколения.
Бренд :
HYRNUSНомер изделия. :
HY-IS1000Минимальный объем заказа (MOQ) :
1 SetГарантия :
One-Year Warranty and Lifetime MaintenanceОплата :
T/TВремя выполнения :
7-35 DaysПроисхождение продукта :
ChinaСтанок для лазерной незаметной резки и шлифовки слитков SiC для кремниевых пластин диаметром 6/8/12 дюймов.
Введение в продукт
HY-IS1000 Станок для лазерной незаметной резки и шлифовки слитков SiC Это двухстанционное оборудование для лазерной резки и шлифовки слитков SiC, объединяющее станцию лазерной модификации и станцию расслоения пластин. На станции лазерной модификации сверхкороткоимпульсный лазер с длиной волны пропускания, соответствующей пластине, фокусируется на заданную внутреннюю глубину слитка с помощью высокоточной оптической системы для запуска многофотонного поглощения, разрыва химических связей материала и создания модифицированного слоя с зонами высокой плотности дислокаций. После модификации станция расслоения пластины осуществляет расслоение вдоль заданных плоскостей кристаллического излома для обеспечения отделения пластины от слитка без следов пилы. Обладая высокой эффективностью обработки (обработка одной 8-дюймовой пластины за 25 минут) и шириной шлифованной поверхности не более 1,1 мкм, эта машина служит важным производственным оборудованием для массового производства полупроводниковых подложек третьего поколения.
Схема конструкции машины
Процесс работы машины
| Нет. | Этапы операции |
| 1 | Поместите слиток SiC на погрузочную станцию. |
| 2 | Выполните измерение слитка. |
| 3 | Перенос слитка на платформу для лазерной модификации |
| 4 | лазерная модификация обработки |
| 5 | Роботизированная рука поднимает слиток. |
| 6 | Провести вторичное измерение слитка. |
| 7 | Механизм переноса поглощает слиток. |
| 8 | Перенос на платформу для расслоения для разделения пластин. |
| 9 | Переместить слиток на перевалочную станцию для очистки нижней поверхности. |
| 10 | Переместите слиток на станцию очистки для очистки верхней поверхности и центрифужной сушки. |
| 11 | Поместите слиток на разгрузочную станцию. |
| 12 | Отделенные пластины переносят на станцию переворачивания для очистки нижней поверхности. |
| 13 | Перенесите пластину на станцию очистки для очистки верхней поверхности и центрифужной сушки. |
| 14 | Поместите вафлю на станцию разгрузки. |
Технические характеристики
1. Стандарты контроля
| Параметр | Ось X | Ось Y | Ось Z | Измерительный прибор |
| Прямолинейность | 1 мкм/100 мм | 1 мкм/100 мм | — | Автоколлиматор |
| Плоскость | 1 мкм/210 мм | 1 мкм/210 мм | — | Автоколлиматор |
| Ортогональность | 5 мкм по осям XY | — | — | Керамическая линейка-угольник |
| Повторяемость | ±1 мкм | ±2 мкм | ±1 мкм | Лазерный интерферометр |
| Точность позиционирования | ±2 мкм | ±3 мкм | ±2 мкм | Лазерный интерферометр |
| Грузоподъемность | 5 кг | X+5 кг | 10 кг | Стандартные веса |
2. Преимущества и особенности
| Параметр | Спецификация |
| Диаметр слитка | Совместимо с 6/8/12-дюймовыми телевизорами. |
| Толщина слитка | ≤50 мм (возможно изменение размера) |
| Толщина нарезки | Поддерживает стандартную толщину 150/700 мкм (можно настроить). |
| Пропускная способность одной линии | UPH ≥ 3 |
| Точность лазерной резки | Точность повторения ≤ ±1 мкм, точность позиционирования ≤ ±2 мкм |
| Толщина разделенной пластины | ≤500 мкм |
3. Технические характеристики точности
| Название раздела | Параметр | Ось X | Ось Y | Ось Z | Спецификация |
| Станция модификации – механическая геометрическая точность | Прямолинейность | 1 мкм/100 мм | 1 мкм/100 мм | — | — |
| Плоскость | 1 мкм/210 мм | 1 мкм/210 мм | — | — | |
| Ортогональность | — | — | — | 5 мкм по осям XY | |
| Станция модификации – Статические характеристики | Повторяемость | ±1 мкм | ±2 мкм | ±1 мкм | — |
| Точность позиционирования | ±2 мкм | ±3 мкм | ±2 мкм | — | |
| Грузоподъемность | 5 кг | X+5 кг | 10 кг | — | |
| Станция разделения – сервомодуль | Повторяемость осей | — | — | — | ≤ ±0,02 мм |
| Разделительная станция – шариковинтовая передача | Повторяемость осей | — | — | — | ≤ ±0,02 мм |
| Станция разделения – точность захвата и перемещения | Точность позиционирования по осям XY | — | — | — | ±0,02 мм |
| Угловая точность | — | — | — | ±0,1° |
Главный экран
| Категория | Компоненты и технические характеристики |
| Объем работ по модификации станции | Гранитное основание, линейный двигатель с воздушным подшипником по оси Y, линейный двигатель с воздушным подшипником по оси X, серводвигатель по оси Z, серводвигатель для передачи данных, контроллер привода осей, транспортная упаковка и страхование. |
| Область применения станции разделения | 1. Рамка Верхняя/нижняя рама: основной корпус из сварного рамы + облицовка из листового металла. |
| 2. Крышки Верхняя крышка: холоднокатаная сталь с пластиковым напылением (стандартная комплектация) Нижняя крышка: холоднокатаная сталь с пластиковым напылением (стандартная комплектация) | |
| 3. Конструктивные элементы Сталь №45 с хромовым покрытием и алюминиевый сплав с анодным оксидированием | |
| 4. Источник питания Однофазный 220 В, 80 А | |
| 5. Источник воздуха ≥0,5 МПа, 150 л/мин | |
Подробная информация о товаре
Станок HY-WD1201 рассчитан на обработку заготовок максимальным диаметром Φ300 мм с ходом по осям X/Y 310 мм для рамок размером 8–12 дюймов. Оснащенный жесткой антивибрационной конструкцией, точностью позиционирования по оси Y 0,003 мм и вращением по оси θ 380°, он имеет шпиндель со скоростью вращения 10000–60000 об/мин, совместимый с лезвиями Φ58 мм. В стандартную комплектацию входят система контроля качества лезвий, автоматическая заточка, 15-дюймовое сенсорное управление и связь GEM. Этот станок 115010201750 мм/1000 кг обеспечивает прецизионную резку кремниевых пластин, SiC, керамики, оптического стекла и магнитных материалов.
Станок HY-WD801 предназначен для обработки заготовок максимальным диаметром Φ210 мм с перемещением по осям X/Y 220 мм для пластин в рамах 6–8 дюймов. Он обладает идентичной точностью перемещения, производительностью шпинделя, защитой лезвия и системой управления, как и HY-WD1201, поддерживая скорость подачи 0,1–1000 мм/с, скорость вращения шпинделя 10000–60000 об/мин и максимальные размеры лезвий Φ58 мм. Компактный (1020–890–1750 мм, 800 кг) и занимающий небольшую площадь, он предназначен для прецизионной резки небольших и средних партий пластин, оптических компонентов и керамических подложек.
HY-PD1202 подходит для больших рам размером 300×300 мм. Полностью замкнутая система управления по оси Y обеспечивает точность 0,005 мм на протяжении всего хода 310 мм, точность повторения по оси Z составляет 0,003 мм. Оснащен бесконтактным датчиком высоты, двухканальным визуальным контролем, системой проверки лезвий и усиленными шпинделями. Оптимизированная компоновка шпинделей и большой квадратный лоток повышают эффективность на 5%; централизованная смазка обеспечивает долговременную точность, полностью совместим с GEM для автоматизированных линий массового производства.
HY-PD802 поддерживает рамки размером до 210×210 мм. Полностью замкнутая шкала Y-образной решетки обеспечивает точность 0,005 мм при перемещении на 220 мм, точность повторения по оси Z достигает 0,003 мм. Оснащен бесконтактным датчиком высоты лезвия, двухканальным световым зрением, функцией обнаружения поломки лезвия и импортными двойными шпинделями. Компактный малошумный блок с 15-дюймовым сенсорным экраном поддерживает пакетную резку, автоматическое выравнивание и возобновление работы после поломки, совместим с протоколом GEM для полуавтоматических линий.
HY-PD801Это 8-дюймовая полуавтоматическая одношпиндельная ленточная пила для резки, рассчитанная на заготовки размером до 210×210 мм. Прочная рама и модернизированная ось X повышают эффективность на 5%. Оснащенная квадратными рамами, сенсорным экраном, фирменным алгоритмом резки, автоматической настройкой лезвия и функцией обнаружения поломки лезвия, она обеспечивает стабильную точность и простоту обслуживания, а также поддерживает протокол GEM для автоматической интеграции с заводскими системами.
HY-PD1201 — это многофункциональная ленточная пила для резки, поддерживающая заготовки размером до 12 дюймов. Ось Y оснащена полностью замкнутой системой управления с помощью решетчатой шкалы для обеспечения превосходной точности позиционирования. В стандартную комплектацию входят бесконтактная система измерения высоты NCS, коаксиальная и кольцевая двухсветовая система машинного зрения и импортный высокоскоростной шпиндель. Компактная, малошумная и удобная в использовании, она обеспечивает точную резку всех твердых хрупких материалов, обладая полным набором функций, включая резку нескольких листов, автоматическое распознавание изображений и возобновление резки после разрывов.
HY-WD601 предназначен для резки полупроводниковых и твердых хрупких заготовок диаметром 6 дюймов. Оснащенный импортным высокоскоростным шпинделем и системой управления с обратной связью по оси Y, он обеспечивает сверхточную резку. Благодаря коаксиальному и кольцевому световому зрению, системе измерения высоты NCS и системе обнаружения лезвий BBD, он отвечает требованиям высокоточной резки различных материалов в полупроводниковой промышленности, оптоэлектронике и новых источниках энергии. Он оснащен сенсорным экраном, обеспечивает полную защиту и имеет несколько интеллектуальных режимов резки.
Шлифовальный станок HY-WT9330 оснащен одним шлифовальным шпинделем с пневматическими подшипниками и двумя шпинделями для заготовок с пневматическими подшипниками. Он может обрабатывать различные сверхтвердые, хрупкие и трудношлифовываемые подложки размером до 12 дюймов, обеспечивая высокоэффективную, без повреждений и сверхточную зеркальную шлифовку с исключительной точностью толщины, подходящую для процесса утонения обратной стороны всех типов кремниевых пластин.
оставить сообщение
Отсканируйте QR-код для отправки в WeChat :
Отсканируйте в WhatsApp :
