
Применение продукта
Данное оборудование применимо для обработки кремниевых пластин, компонентов в пластиковой упаковке (QFN, BGA и др.), печатных плат, керамических подложек (оксид алюминия, диоксид циркония и др.), оксидной керамики (термисторы, варисторы, фоторезисторы), стекла, кварца, ниобата лития, танталата лития и магнитных материалов.
Он широко используется для точной нарезки в различных отраслях промышленности, включая производство электронных компонентов, интегральных схем (ИС), светодиодов, солнечных батарей, оптических устройств, волоконно-оптических элементов и электронной керамики.

Надежная и удобная операционная система
1. 15-дюймовая сенсорная панель управления отображает исчерпывающие данные о состоянии работы машины, обеспечивая более простое и удобное управление.
2. Все параметры жидкости контролируются программным обеспечением и хранятся в группах программ, что сокращает время отладки при переналадке оборудования.
3. Специально оптимизированное программное обеспечение для обработки нескольких заготовок обеспечивает на 10% более высокую скорость обработки по сравнению с традиционными алгоритмами резки.
4. Разработанные нами алгоритмы управления движением на низком уровне и обработки изображений повышают общую надежность и стабильность системы.
5. Он поддерживает стандартные коммуникационные протоколы SEMI, что упрощает интеграцию с системами автоматизации производства.

Технические характеристики
| Нет. | Элемент | Технические параметры | Примечания |
| 1 | Размер обработки | Φ210 мм / Φ150 мм | 8 дюймов / 6 дюймов |
| 2 | Импортный шпиндель | Скорость вращения: 10000–60000 об/мин | |
| Мощность: 1,8 кВт |
| 3 | Ось X | Ход нарезки: Макс. 220 мм | |
| Тип привода: Сервомотор |
| Разрешение: 0,001 мм |
| Скорость нарезки: 0,1–1000 мм/с |
| 4 | Ось Y | Ход нарезки: Макс. 220 мм | |
| Тип привода: Серводвигатель + линейка с полностью замкнутым контуром управления |
| Точность повторного позиционирования: 0,002 мм / 5 мм |
| Разрешение: 0,0005 мм |
| Суммарная погрешность: 0,005 мм / 220 мм |
| Скорость нарезки: 0,1–300 мм/с |
| 5 | Ось Z | Эффективный ход / Размер патрона: Макс. 30 мм / Φ58 мм | Максимальная глубина резания ≤ 4 мм |
| Тип привода: Сервомотор |
| Разрешение: 0,001 мм |
| Точность повторного позиционирования: 0,001 мм |
| Размер патрона: Φ47,4 мм ~ Φ54 мм |
| Внешний диаметр лезвия: Макс. Φ58 мм |
| Максимальная скорость перемещения: 90 мм/с |
| 6 | Ось θ | Диапазон вращения: Макс. 380° | |
| Тип привода: двигатель с прямым приводом (DD). |
| Точность повторного позиционирования: 3 угловые секунды |
| Разрешение: 0,0002° |
| 7 | Система выравнивания | Освещение: коаксиальное + кольцевое | |
| Увеличение: низкое 0,75X / высокое 1,5X |
| Разрешение видимого изображения: 0,0005 мм |
| 8 | Вес оборудования | 500 кг ±5% | |
| 9 | Габаритные размеры | 1030 мм × 900 мм × 1750 мм | |
| 10 | Суммарная мощность оборудования | 4 кВт | |

Операционная среда
| Элемент | Технические характеристики |
| Температура окружающей среды | Оборудование следует устанавливать в помещении с температурой 25°C, предпочтительно в чистом помещении с постоянной температурой и без пыли. |
| Источник питания | Однофазный переменный ток 220 В, 4 кВт |
| Сжатый воздух | Используется сжатый воздух с эффективностью фильтрации ≥99,5% для частиц размером 0,01 мкм. Для осушения воздуха используется осушитель с охлаждением. |
| Давление воздуха: 0,6–0,8 МПа |
| Расход воздуха шпинделя: 80 л/мин. |
| Общий расход воздуха всей машины: 190 л/мин. |
| Нарезка воды кубиками | Температура воды для нарезки должна поддерживаться на уровне комнатной температуры ±2 °C, давление — 0,2–0,4 МПа. Допускается использование водопроводной воды, а сточные воды могут сбрасываться непосредственно после обработки. |
| Расход воды: 2 л/мин |
| Охлаждающая вода (охлаждение шпинделя) | Циркулирующая чистая вода, подаваемая водоочистителем. Температура воды поддерживается на уровне комнатной температуры ±2 °C, давление 0,2–0,4 МПа. |
| Окружающая среда | Не устанавливайте оборудование рядом с вентиляторами, вентиляционными отверстиями или оборудованием, генерирующим высокие температуры и масляный туман. |