Что Вы ищете
?
Станок HY-WT9230 разработан для обработки сверхтвердых хрупких полупроводниковых материалов размером до 12 дюймов. Оснащенный двумя шпинделями на воздушных подшипниках и высокоточной шлифовальной осью Z, он обеспечивает полностью автоматическое утонение зеркал с высокой эффективностью и без повреждений. Благодаря вакуумному патрону с пористым сердечником и сверхточной подаче, станок гарантирует превосходную плоскостность и равномерность толщины при утонении полупроводниковых пластин.
Бренд :
HYRNUSНомер изделия. :
HY-WT9230Минимальный объем заказа (MOQ) :
1 SetГарантия :
One-Year Warranty and Lifetime MaintenanceОплата :
T/TВремя выполнения :
7-35 DaysПроисхождение продукта :
ChinaСтанок для истончения пластин твердых и хрупких полупроводниковых материалов
Введение в продукт
HY-WT9230 Машина для истончения пластинПодходит для обработки различных сверхтвердых хрупких полупроводниковых материалов диаметром до 12 дюймов. Оснащенный двумя шпинделями на воздушных подшипниках и высокоточной шлифовальной осью Z, он обеспечивает полностью автоматическое утонение зеркал, отличающееся высокой эффективностью, отсутствием повреждений заготовки и превосходной равномерностью толщины.
В станке используется вакуумный патрон из пористой керамики для стабильной фиксации пластин. Он обеспечивает минимальную подачу 0,1 мкм, разницу температур после шлифовки менее 3,0 мкм и шероховатость поверхности Ra < 10 нм после тонкой шлифовки шлифовальным кругом № 8000.
Схема конструкции машины
Процесс работы машины
| Шаг | Этапы операции |
| 1 | Для автоматической адсорбции вручную поместите пластину на керамический держатель. |
| 2 | Передаточный механизм перемещает шпиндель заготовки к шлифовальной станции. |
| 3 | Шлифовальный узел автоматически шлифует пластину до требуемой толщины. |
| 4 | Механизм перемещения доставляет отшлифованную пластину на станцию загрузки и разгрузки. |
| 5 | Извлеките обработанную вафлю вручную. |
Технические характеристики
| Элемент | Параметры |
| Диапазон размеров заготовок | Максимальный обрабатываемый размер: Ø300 мм |
| Шлифовальный круг, шпиндель с воздушным подшипником | Количество: 1 |
| Мощность шпинделя: 11,0 кВт | |
| Скорость вращения шпинделя: 1000–4000 об/мин | |
| Шпиндель с воздушным подшипником для заготовки | Количество: 1 |
| Скорость вращения шпинделя: 10–300 об/мин. | |
| Шлифовка по оси Z | Ход подвески: 120 мм |
| Скорость подачи при шлифовании: 0,0001~0,08 мм/с | |
| Минимальный шаг подачи: 0,1 мкм | |
| Метод зажима | Пористый вакуумный патрон |
| TTV после шлифовки | ＜3,0 мкм |
| Отклонение толщины пластины от пластины к пластине после шлифовки | ±3 мкм |
| Шероховатость поверхности после тонкой шлифовки | Ra＜10 нм (шлифовальный круг 8000#) |
Главный экран
| Нет. | Элемент | Спецификация |
| 1 | Рамка | Нижняя рама: чугун (стандартная комплектация) |
| Верхняя рама: алюминиевый профиль 30×60. | ||
| 2 | Крышка | Холоднокатаная стальная пластина с пластиковым напылением RAL9003 на поверхность (стандартная комплектация) |
| 3 | Конструкционные элементы | Сталь марки 45# с хромированным покрытием, анодированный алюминиевый сплав и нержавеющая сталь. |
| 4 | Источник питания | Трехфазное напряжение 380 В, частота 50 Гц |
| 5 | Источник воздуха | ≥0,5 МПа (колебание) ＜0,03 МПа), 150 л/мин |
| 6 | Источник воды | Давление: 0,2–0,3 МПа |
| Расход: ＞20 л/мин | ||
| Температура: температура окружающей среды +2℃ (колебание ±1)℃) | ||
| 7 | Потребление электроэнергии | Мощность нагрева: 4 кВт; Мощность шлифовки: 8 кВт |
Подробная информация о товаре
Шлифовальный станок HY-WT9330 оснащен одним шлифовальным шпинделем с пневматическими подшипниками и двумя шпинделями для заготовок с пневматическими подшипниками. Он может обрабатывать различные сверхтвердые, хрупкие и трудношлифовываемые подложки размером до 12 дюймов, обеспечивая высокоэффективную, без повреждений и сверхточную зеркальную шлифовку с исключительной точностью толщины, подходящую для процесса утонения обратной стороны всех типов кремниевых пластин.
Станок HY-WT9530 оснащен двумя шпинделями на воздушных подшипниках и тремя вакуумными зажимными столами для обработки твердых хрупких подложек диаметром до 8 дюймов. Операторам достаточно вручную загружать кассеты, в то время как станок выполняет полностью автоматические циклы, включая черновую/тонкую шлифовку, очистку и восстановление. После шлифовки достигается толщина пленки ≤1,5 мкм с превосходной плоскостностью и шероховатостью поверхности, что делает его подходящим для истончения обратной стороны различных полупроводниковых пластин.
Станок HY-WT9730 поддерживает обработку пластин диаметром до 12 дюймов. Оснащенный 3 шлифовальными шпинделями с пневматическими подшипниками и 4 шпинделями с пневматическими подшипниками для заготовок, он объединяет процессы черновой, тонкой шлифовки и полировки. Полностью роботизированный рабочий процесс автоматически выполняет перенос, обработку, очистку и выгрузку пластин; требуется только ручная подача кассет. Сверхточная подача по оси Z обеспечивает превосходную плоскостность пластин и зеркальную полировку без повреждений, а прочная рама гарантирует стабильное массовое производство.
HY-IS1000 — это двухпозиционное оборудование для лазерной резки и шлифовки слитков SiC, сочетающее в себе процессы лазерной модификации и расслоения пластин. В нем используется сверхкороткоимпульсный лазер для формирования внутренних модифицированных слоев внутри слитков SiC, что обеспечивает расщепление пластин без следов пилы и высокую производительность с толщиной шлифованной пластины ≤1,1 мкм. Это незаменимое оборудование для массового производства полупроводниковых подложек третьего поколения.
HY-WC615 станок для снятия фаски с двух сторон вафель Оснащен модулями позиционирования с ПЗС-матрицей и онлайн-измерения толщины, собственными разработками основных механических компонентов и полностью автоматической системой загрузки/выгрузки, что обеспечивает исключительную точность обработки и удобное сенсорное управление при обработке фасок пластин.
Прибор HY-ST3005 предназначен для высокоточной обратной тонкослойной обработки твердых хрупких полупроводниковых подложек размером от 4 до 12 дюймов. Благодаря итеративной модернизации, обеспечивающей превосходную точность и долговременную стабильность, станок оснащен высококачественными основными узлами (шпиндель с гидростатическим воздушным подшипником, высокоточный шпиндель для пластин, высокопрочный поворотный стол большого диаметра) и отличается высокой степенью автоматизации для массового производства кремниевых и полупроводниковых пластин.
Станок HY-ST3002 предназначен для прецизионной шлифовки и утонения твердых хрупких полупроводниковых пластин диаметром от 4 до 12 дюймов. Полностью модернизированный с использованием отработанных технологических процессов, он отличается повышенной точностью и стабильной работой в течение длительного времени, а также усовершенствованной архитектурой автоматического утонения и высококачественными ключевыми компонентами: гидростатическим шлифовальным шпинделем с воздушными подшипниками, гидростатическим шпинделем для удержания пластин с воздушными подшипниками и высокопрочным поворотным столом большого диаметра.
оставить сообщение
Отсканируйте QR-код для отправки в WeChat :
Отсканируйте в WhatsApp :
