Оборудование для обработки кремниевых пластин

HY-WD1202 использует импортные шпиндели RPS, прецизионные компоненты трансмиссии NSK и энкодеры Renishaw для управления по оси Y с обратной связью и высокой точностью позиционирования. Он поддерживает измерение высоты NCS, обнаружение BBD-лезвий, автоматическое распознавание изображений и правку на колесе, подходит для обработки кремниевых пластин, SiC/GaN, керамики, печатных плат и оптического стекла.Этот сенсорный станок, применяемый для прецизионной резки в индустрии интегральных схем, силовых устройств и светодиодов, оснащен системой полной защиты от перегрузки по давлению и температуре. Он предлагает несколько режимов резки для стандартных и сложных заготовок, что делает его подходящим для массового производства в чистых помещениях с постоянной температурой.

HY-WD802 оснащен двумя импортными высокоскоростными шпинделями, коаксиальным и кольцевым двойным визуальным контролем, встроенной системой измерения высоты NCS, системой обнаружения BBD и системой правки на шлифовальном круге. Благодаря трансмиссии NSK и линейной шкале с замкнутым контуром Renishaw, обеспечивающей превосходную точность позиционирования, он выполняет прецизионную резку кремниевых, SiC, GaN и композитных пластин для массового производства силовых приборов, интегральных схем и оптоэлектронной керамики.

HY-WD681 обеспечивает микроточноточную резку 6/8-дюймовых пластин, керамических и стеклянных подложек. Благодаря автоматической юстировке с помощью ПЗС-матрицы и высокоскоростному регулируемому шпинделю, он экономит место в чистых помещениях, повышая стабильность и производительность производства, что идеально подходит для промежуточной обработки полупроводниковых компонентов и производства мини-светодиодов.

Станок HY-WD1201 рассчитан на обработку заготовок максимальным диаметром Φ300 мм с ходом по осям X/Y 310 мм для рамок размером 8–12 дюймов. Оснащенный жесткой антивибрационной конструкцией, точностью позиционирования по оси Y 0,003 мм и вращением по оси θ 380°, он имеет шпиндель со скоростью вращения 10000–60000 об/мин, совместимый с лезвиями Φ58 мм. В стандартную комплектацию входят система контроля качества лезвий, автоматическая заточка, 15-дюймовое сенсорное управление и связь GEM. Этот станок 115010201750 мм/1000 кг обеспечивает прецизионную резку кремниевых пластин, SiC, керамики, оптического стекла и магнитных материалов.

Станок HY-WD801 предназначен для обработки заготовок максимальным диаметром Φ210 мм с перемещением по осям X/Y 220 мм для пластин в рамах 6–8 дюймов. Он обладает идентичной точностью перемещения, производительностью шпинделя, защитой лезвия и системой управления, как и HY-WD1201, поддерживая скорость подачи 0,1–1000 мм/с, скорость вращения шпинделя 10000–60000 об/мин и максимальные размеры лезвий Φ58 мм. Компактный (1020–890–1750 мм, 800 кг) и занимающий небольшую площадь, он предназначен для прецизионной резки небольших и средних партий пластин, оптических компонентов и керамических подложек.

HY-PD1202 подходит для больших рам размером 300×300 мм. Полностью замкнутая система управления по оси Y обеспечивает точность 0,005 мм на протяжении всего хода 310 мм, точность повторения по оси Z составляет 0,003 мм. Оснащен бесконтактным датчиком высоты, двухканальным визуальным контролем, системой проверки лезвий и усиленными шпинделями. Оптимизированная компоновка шпинделей и большой квадратный лоток повышают эффективность на 5%; централизованная смазка обеспечивает долговременную точность, полностью совместим с GEM для автоматизированных линий массового производства.

HY-PD802 поддерживает рамки размером до 210×210 мм. Полностью замкнутая шкала Y-образной решетки обеспечивает точность 0,005 мм при перемещении на 220 мм, точность повторения по оси Z достигает 0,003 мм. Оснащен бесконтактным датчиком высоты лезвия, двухканальным световым зрением, функцией обнаружения поломки лезвия и импортными двойными шпинделями. Компактный малошумный блок с 15-дюймовым сенсорным экраном поддерживает пакетную резку, автоматическое выравнивание и возобновление работы после поломки, совместим с протоколом GEM для полуавтоматических линий.

HY-PD801Это 8-дюймовая полуавтоматическая одношпиндельная ленточная пила для резки, рассчитанная на заготовки размером до 210×210 мм. Прочная рама и модернизированная ось X повышают эффективность на 5%. Оснащенная квадратными рамами, сенсорным экраном, фирменным алгоритмом резки, автоматической настройкой лезвия и функцией обнаружения поломки лезвия, она обеспечивает стабильную точность и простоту обслуживания, а также поддерживает протокол GEM для автоматической интеграции с заводскими системами.

HY-PD1201 — это многофункциональная ленточная пила для резки, поддерживающая заготовки размером до 12 дюймов. Ось Y оснащена полностью замкнутой системой управления с помощью решетчатой ​​шкалы для обеспечения превосходной точности позиционирования. В стандартную комплектацию входят бесконтактная система измерения высоты NCS, коаксиальная и кольцевая двухсветовая система машинного зрения и импортный высокоскоростной шпиндель. Компактная, малошумная и удобная в использовании, она обеспечивает точную резку всех твердых хрупких материалов, обладая полным набором функций, включая резку нескольких листов, автоматическое распознавание изображений и возобновление резки после разрывов.

HY-WD601 предназначен для резки полупроводниковых и твердых хрупких заготовок диаметром 6 дюймов. Оснащенный импортным высокоскоростным шпинделем и системой управления с обратной связью по оси Y, он обеспечивает сверхточную резку. Благодаря коаксиальному и кольцевому световому зрению, системе измерения высоты NCS и системе обнаружения лезвий BBD, он отвечает требованиям высокоточной резки различных материалов в полупроводниковой промышленности, оптоэлектронике и новых источниках энергии. Он оснащен сенсорным экраном, обеспечивает полную защиту и имеет несколько интеллектуальных режимов резки.

Шлифовальный станок HY-WT9330 оснащен одним шлифовальным шпинделем с пневматическими подшипниками и двумя шпинделями для заготовок с пневматическими подшипниками. Он может обрабатывать различные сверхтвердые, хрупкие и трудношлифовываемые подложки размером до 12 дюймов, обеспечивая высокоэффективную, без повреждений и сверхточную зеркальную шлифовку с исключительной точностью толщины, подходящую для процесса утонения обратной стороны всех типов кремниевых пластин.

Станок HY-WT9530 оснащен двумя шпинделями на воздушных подшипниках и тремя вакуумными зажимными столами для обработки твердых хрупких подложек диаметром до 8 дюймов. Операторам достаточно вручную загружать кассеты, в то время как станок выполняет полностью автоматические циклы, включая черновую/тонкую шлифовку, очистку и восстановление. После шлифовки достигается толщина пленки ≤1,5 ​​мкм с превосходной плоскостностью и шероховатостью поверхности, что делает его подходящим для истончения обратной стороны различных полупроводниковых пластин.