| Элемент | Спецификация |
| Устройство для захвата и перемещения | |
| Поворотный рычаг | тип с поворотом на 180° |
| Ось Z | Конструкция кулачка |
| Мотор | сервомотор переменного тока |
| Сигнальный кабель оси Z | Оптимизируйте прокладку кабелей, чтобы предотвратить скручивание или обрыв проводов/трубок. |
| Этап вафель | |
| XY Travel | 14" × 14" |
| Разрешение XY-позиционера | 0,04 мил (1 мкм) |
| Мотор | Линейный двигатель |
| Блок записи | |
| Технические характеристики ленты-носителя | Совместимо с лентами-носителями шириной 8 мм и 12 мм. |
| Нижняя камера | Обнаруживает сколы, трещины и ориентацию кристалла (спереди/сзади). |
| Штамп и вафля | |
| Размер матрицы | 5 мил × 5 мил ~ 80 мил × 80 мил 80 мил × 80 мил ~ 270 мил × 270 мил |
| Размер вафли | 8" / 12" (с расширительными кольцами) |
| Тип штампа | ИС, светодиод |
| Сила сцепления | 40 гс ~ 200 гс (программируемый) |
| Эжекторная система | |
| Механизм выталкивающего штифта и кольца | Программируемое движение вверх/вниз |
| Система зрения и оптическая система | |
| Обработка изображений | 256 уровней серого |
| Возможности обнаружения | Чернильные точки, сколы штампа, трещины на штампе (автоматический пропуск) |
| Разрешение | 1024 × 768 |
| Оптическое увеличение | регулируемый 0,7× ~ 4,5× |
| Точность распознавания | 1,56 мкм ~ 8,93 мкм |
| Точность размещения кристалла | 35 мкм (для 5 мил ~ 80 мил) |
| ЦПК | Настраиваемые пределы срабатывания сигнализации |
| Оптическое увеличение пластины | Два комплекта линз для разных размеров кристаллов, выбираемые пользователем. |
| Увеличение нижней камеры | Два комплекта линз для разных размеров кристаллов, выбираемые пользователем. |
| Скорость | |
| Время цикла наклеивания | <300 мс (камера выключена)<450 мс (камера включена) |
| Хранилище программ | |
| Количество программ | 50 |
| Максимальное количество кристаллов на подложку | 999 × 999 |
| Максимальное количество субстратов за один запуск | 99 × 99 |
| Обнаружение отсутствующих кристаллов | |
| Метод обнаружения | Вакуумный датчик |
| Коммунальные услуги | |
| Источник питания | Переменный ток 220 В / 50 Гц |
| Сжатый воздух | ≥ 0,6 МПа |
| Уровень вакуума | 700 мм рт. ст. |
| Потребление электроэнергии | 2500 Вт |
| Габариты и вес | |
| Масса | 1000 кг |
| Размер машины | 1200 × 1200 × 1500 мм |
| Программное обеспечение и внешний вид | |
| Брендинг | На станке отсутствует название/логотип компании. |
| Логотип программного обеспечения | Логотип H-Com интегрирован. |
| Машинный цвет | Стандарт JAL (W-900 M-12 N-0.6 B-0.7 I-0.6) |
| Функция отображения | |
| Классификация штампов | Хорошо / Плохо / Другое / Пусто (с цветовой кодировкой) |
| Формат файла | Совместимо с картой Horng Com TXT. |
| Функция отображения | Все штампы индивидуально выравниваются, проверяются и регистрируются. |