станок для шлифовки обратной стороны вафель

Станок HY-WT9730 поддерживает обработку пластин диаметром до 12 дюймов. Оснащенный 3 шлифовальными шпинделями с пневматическими подшипниками и 4 шпинделями с пневматическими подшипниками для заготовок, он объединяет процессы черновой, тонкой шлифовки и полировки. Полностью роботизированный рабочий процесс автоматически выполняет перенос, обработку, очистку и выгрузку пластин; требуется только ручная подача кассет. Сверхточная подача по оси Z обеспечивает превосходную плоскостность пластин и зеркальную полировку без повреждений, а прочная рама гарантирует стабильное массовое производство.

HY-WC615 станок для снятия фаски с двух сторон вафель Оснащен модулями позиционирования с ПЗС-матрицей и онлайн-измерения толщины, собственными разработками основных механических компонентов и полностью автоматической системой загрузки/выгрузки, что обеспечивает исключительную точность обработки и удобное сенсорное управление при обработке фасок пластин.

Станок HY-ST3002 предназначен для прецизионной шлифовки и утонения твердых хрупких полупроводниковых пластин диаметром от 4 до 12 дюймов. Полностью модернизированный с использованием отработанных технологических процессов, он отличается повышенной точностью и стабильной работой в течение длительного времени, а также усовершенствованной архитектурой автоматического утонения и высококачественными ключевыми компонентами: гидростатическим шлифовальным шпинделем с воздушными подшипниками, гидростатическим шпинделем для удержания пластин с воздушными подшипниками и высокопрочным поворотным столом большого диаметра.