шлифовка обратной стороны вафли

Станок HY-WT9530 оснащен двумя шпинделями на воздушных подшипниках и тремя вакуумными зажимными столами для обработки твердых хрупких подложек диаметром до 8 дюймов. Операторам достаточно вручную загружать кассеты, в то время как станок выполняет полностью автоматические циклы, включая черновую/тонкую шлифовку, очистку и восстановление. После шлифовки достигается толщина пленки ≤1,5 ​​мкм с превосходной плоскостностью и шероховатостью поверхности, что делает его подходящим для истончения обратной стороны различных полупроводниковых пластин.

Станок HY-WT9730 поддерживает обработку пластин диаметром до 12 дюймов. Оснащенный 3 шлифовальными шпинделями с пневматическими подшипниками и 4 шпинделями с пневматическими подшипниками для заготовок, он объединяет процессы черновой, тонкой шлифовки и полировки. Полностью роботизированный рабочий процесс автоматически выполняет перенос, обработку, очистку и выгрузку пластин; требуется только ручная подача кассет. Сверхточная подача по оси Z обеспечивает превосходную плоскостность пластин и зеркальную полировку без повреждений, а прочная рама гарантирует стабильное массовое производство.