Что Вы ищете
?
HY-SP910 оснащен системой управления на базе ПЛК и сенсорного экрана, что обеспечивает простоту настройки, удобство эксплуатации и стабильную работу. Он выполняет сверхточную одностороннюю полировку тонких компонентов, поддерживая полупроводниковые подложки (сапфир, SiC, кремний и эпитаксиальные пластины), а также оптические стеклянные пластины, кварцевые кристаллы, керамические пластины, заготовки из нержавеющей стали и волоконно-оптические разъемы.
Бренд :
HYRNUSНомер изделия. :
HY-SP910Минимальный объем заказа (MOQ) :
1 SetГарантия :
One-Year Warranty and Lifetime MaintenanceОплата :
T/TВремя выполнения :
7-35 DaysПроисхождение продукта :
ChinaОдносторонняя полировальная машина для химико-механической полировки полупроводниковых подложек.
Введение в продукт
HY-SP910 Односторонняя полировка кремниевых пластин методом химико-механической полировки (CMP) Он создан на основе передовой механической архитектуры и множества отработанных алгоритмов управления, обеспечивая превосходную производительность полировки и стабильную работу в течение длительного времени. Он оснащен интегрированной системой управления на базе ПЛК и сенсорного экрана, позволяющей пользователям легко настраивать параметры и управлять повседневной работой с помощью интуитивно понятного интерфейса.
В этом устройстве используется пневматическая система подачи воздуха для создания давления при полировке, в сочетании с электропневматическими пропорциональными клапанами, что обеспечивает полностью замкнутый контур управления давлением для сверхвысокой точности прессования и равномерного выходного давления на протяжении всего цикла полировки. Активно управляемый верхний держатель гарантирует стабильные результаты полировки на всех участках, а циркуляция охлаждающей воды как на полировальной плите, так и на верхнем держателе максимизирует эффективность суспензии и подавляет термическую деформацию поверхности плиты.
Преимущества продукта
1. Высокая эффективность и стабильная работа: Это односторонний прецизионный полировальный станок, в котором используется усовершенствованная механическая конструкция и множество сложных методов управления, что обеспечивает высокую эффективность полировки и стабильную работу.
2. Удобная система управления: Вся машина оснащена системой управления на базе ПЛК и сенсорного экрана, что обеспечивает простую и удобную настройку параметров оборудования и его эксплуатацию, а также высокую стабильность работы системы.
3. Защита от плавного пуска/остановки: Главный двигатель управляется частотно-регулируемым приводом, что обеспечивает плавный пуск и плавную остановку основного станка, снижая воздействие на работу оборудования и минимизируя повреждение заготовки.
4. Высокоточное регулирование давления: давление при полировке заготовки создается за счет давления в цилиндре, а регулирование давления в замкнутом контуре осуществляется с помощью электрического пропорционального клапана, что обеспечивает чрезвычайно высокую точность и стабильность подачи давления.
5. Активный привод для равномерной полировки: верхняя прижимная плита работает в режиме активного привода, обеспечивая равномерность процесса полировки на каждом участке и гарантируя высокую скорость полировки изделия.
6. Система охлаждения для обеспечения стабильности процесса: как полировальная плита, так и верхняя прижимная плита оснащены системами водяного охлаждения, что позволяет максимально повысить эффективность полировальной суспензии и уменьшить деформацию поверхности полировальной плиты.
Области применения
Этот станок выполняет одностороннюю сверхточную полировку тонких прецизионных заготовок. В основном он предназначен для обработки полупроводниковых подложек, включая сапфировые подложки, подложки из карбида кремния, кремниевые пластины и эпитаксиальные сапфировые пластины. Он также совместим с оптическими и прецизионными металлическими деталями, такими как оптические стеклянные пластины, керамические пластины, кварцевые кристаллы, заготовки из нержавеющей стали и волоконно-оптические разъемы.
Состав продукта
Технические параметры
Имя параметра | Значение параметра |
| Модель | HY-SP910 |
| Диапазон поворота полировальной головки | ±5 мм |
| Скорость вращения полировальной головки | 0~70 об/мин |
| Технические характеристики полировального диска | 910 мм |
| Скорость вращения полировального диска | 0~80 об/мин |
| Скорость потока полировальной жидкости | 15 л/мин |
| Размер диска заготовки | 360 мм |
| Давление на одной станции | 20–300 кг |
| Скорость вращения диска заготовки | 0~70 об/мин |
| Мощность/напряжение главного двигателя | 11 кВт / 380 В |
| Размер обработки | 2–8 дюймов |
| Количество станций оборудования | 4 |
| Тип полировальной машины | Полировка вертикального поворотного стола |
| Режим работы | Полуавтоматический (ручная погрузка/разгрузка) |
| Шероховатость поверхности Ra (нм) | 5 нм |
| Суммарная мощность оборудования | 12 кВт |
| Общий вес оборудования | Примерно 3000 кг |
| Габаритные размеры (ДхШхВ) | 1200 x 1650 x 2250 мм |
Основные характеристики
| Категория | Элемент | Спецификация |
| Механическая структура | Листовой металл | Стандартная квадратная труба 50 x 50 x 5 + рамка для промышленного запекаемого лака |
| Компоненты | Нержавеющая сталь 304 / алюминий 6061 с поверхностной оксидной обработкой. | |
| Рабочий стол | Изготовлено на заказ (основной патент принадлежит компании) | |
| Главный двигатель | ТЕКО | |
| Редуктор | Джесс / Шанта | |
| Электрическая система управления | ПЛК | Дельта / Панасоник / Митсубиши |
| Сенсорный экран | TouchThink / Weintek / Advantech | |
| Защита от перенапряжения | Автоматический выключатель защиты от утечки на землю (Mean Well / Schneider) | |
| Источник питания постоянного тока | Импульсный источник питания (Mean Well / Schneider) | |
| Пневматическая система | Пневматический цилиндр | SMC / CKD / FESTO |
| Контроль давления | SMC / CKD / FESTO | |
| Регулирование давления | SMC / CKD / FESTO | |
| Индикация давления | SMC / CKD / FESTO | |
| Электромагнитный клапан | SMC / CKD / FESTO |
Подробная информация о товаре
Станок HY-WT9730 поддерживает обработку пластин диаметром до 12 дюймов. Оснащенный 3 шлифовальными шпинделями с пневматическими подшипниками и 4 шпинделями с пневматическими подшипниками для заготовок, он объединяет процессы черновой, тонкой шлифовки и полировки. Полностью роботизированный рабочий процесс автоматически выполняет перенос, обработку, очистку и выгрузку пластин; требуется только ручная подача кассет. Сверхточная подача по оси Z обеспечивает превосходную плоскостность пластин и зеркальную полировку без повреждений, а прочная рама гарантирует стабильное массовое производство.
HY-SP855 односторонняя полировка меди Этот станок предназначен для прецизионной притирки и полировки твердых хрупких полупроводниковых материалов. Он использует сенсорное управление ПЛК и встроенный кондиционер для дисков, оснащенный частотно-регулируемым приводом, замкнутым контуром управления давлением и водяным охлаждением пластины. Плоскостность обработанной пластины достигает 0,01 мм, обеспечивая стабильную и равномерную обработку для высокоточного массового производства подложек.
оставить сообщение
Отсканируйте QR-код для отправки в WeChat :
Отсканируйте в WhatsApp :
