Что Вы ищете
?
HY-SP855 односторонняя полировка меди Этот станок предназначен для прецизионной притирки и полировки твердых хрупких полупроводниковых материалов. Он использует сенсорное управление ПЛК и встроенный кондиционер для дисков, оснащенный частотно-регулируемым приводом, замкнутым контуром управления давлением и водяным охлаждением пластины. Плоскостность обработанной пластины достигает 0,01 мм, обеспечивая стабильную и равномерную обработку для высокоточного массового производства подложек.
Бренд :
HYRNUSНомер изделия. :
HY-SP855Минимальный объем заказа (MOQ) :
1 SetГарантия :
One-Year Warranty and Lifetime MaintenanceОплата :
T/TВремя выполнения :
7-35 DaysПроисхождение продукта :
ChinaОдносторонняя прецизионная машина для полировки меди с сенсорным управлением на базе ПЛК и устройством для обработки дисков.
Введение в продукт
HY-SP855ряд односторонняя прецизионная машина для полировки меди Обеспечивает высокоточную одностороннюю притирку и полировку различных твердых хрупких полупроводниковых материалов. Интегрированная система управления с сенсорным ПЛК и встроенный независимый кондиционер для дисков, она использует частотно-регулируемый привод, замкнутую систему управления давлением и водяное охлаждение шлифовальной пластины при постоянной температуре для стабильной работы и превосходной равномерности на всех участках. После кондиционирования плоскостность шлифовальной пластины достигает 0,01 мм с превосходными показателями TTV и шероховатости поверхности, надежно поддерживая массовое производство высокоточных полупроводниковых подложек.
Преимущества продукта
1. Этот односторонний прецизионный притирочный станок отличается усовершенствованной механической конструкцией и множеством передовых технологий управления, что обеспечивает высокую эффективность притирки и стабильную работу.
2. Вся машина оснащена системой управления на базе ПЛК с сенсорным экраном. Это обеспечивает простую настройку параметров и управление, а также высокую стабильность системы.
3. Главный двигатель использует частотно-регулируемое управление скоростью для обеспечения плавного пуска и остановки, что снижает механические удары и повреждение заготовки.
4. Давление при притирке заготовки подается с помощью пневматических цилиндров, при этом регулирование давления осуществляется с помощью электропневматического пропорционального клапана, что обеспечивает сверхвысокую точность и стабильность давления.
5. Верхняя прижимная пластина имеет активную конструкцию привода, что гарантирует стабильные результаты притирки на всех рабочих станциях при сохранении высокой скорости обработки.
6. Шлифовальная плита оснащена системой циркуляционного водяного охлаждения, что обеспечивает максимальную эффективность обработки суспензии и минимизирует деформацию плиты.
7. Встроенный кондиционер для шлифовальных дисков обеспечивает плоскостность шлифовальной пластины до 0,01 мм после кондиционирования.
Области применения
Этот метод в основном применяется для односторонней прецизионной притирки и полировки твердых и хрупких материалов, включая сапфировые подложки, нитрид галлия (GaN), оптические стеклянные пластины, подложки из карбида кремния (SiC), эпитаксиальные сапфировые пластины, кремниевые пластины, керамические листы, кварцевые кристаллы и другие полупроводниковые подложки.
Состав продукта
Данная машина имеет модульную конструкцию, состоящую из механической системы, пневматической и водопроводной систем, а также системы электрического управления. Каждая независимая подсистема обеспечивает стабильную работу, точное регулирование давления и удобство технического обслуживания.
Технические параметры
| Имя параметра | Значение параметра |
| Модель | HY-SP855 |
| Технические характеристики притирочной пластины (мм) | 855×255×12 |
| Диаметр керамической пластины (мм) | 360 |
| Мощность главного двигателя | 11 кВт / 380 В |
| Мощность двигателя прижимной пластины | 0,2 кВт / 380 В (4 блока) |
| Мощность двигателя для посадки | 0,2 кВт / 380 В |
| Максимальная скорость вращения полировальной пластины | 100 об/мин (макс.) |
| Количество станций оборудования | 4 станции |
| Режим работы | Полуавтоматический (ручная погрузка/разгрузка) |
| Диапазон времени | 0-999 минут |
| Максимальное заданное давление | 300 кгс (на голову) |
| Минимальное заданное давление | 20 кгс (на голову) |
| Источник воздуха | 0,4-0,6 МПа (в сухом и безмасляном состоянии) |
| Предельное вакуумное давление (кПа) | -90 |
| Давление охлаждающей воды | ≤ 2 кгс/см² |
| Расход воды | 15 л/мин |
| Температура в помещении | 15℃-25℃ |
| Относительная влажность | ≤ 80% |
| ТТВ (мкм) | ≤ 5 мкм после обработки 4-дюймовых 7-компонентных керамических пластин |
| Шероховатость поверхности Ra (нм) | 20 нм |
| Суммарная мощность оборудования (кВт) | 12 кВт |
| Общий вес оборудования (кг) | Примерно 3500 |
| Габаритные размеры (Д×Ш×В) | 1200×2150×2250 мм |
| Точность датчика температуры основной пластины | ±5℃ |
| Пропускная способность | ≥ 1320 шт./день |
Система ключевого оборудования
| Категория системы | Компонент | Технические характеристики / Марка |
| Механическая структура | Листовой металл | Рама из квадратных труб, соответствующих национальному стандарту, размером 50×50×5 дюймов, с внешним покрытием из промышленной запекаемой краски. |
| Детали | Нержавеющая сталь 304 / AL6061 с анодированным покрытием поверхности. | |
| Шпиндель | Собственное производство (основной патент) | |
| Рабочий поворотный стол | Собственное производство (основной патент) | |
| Главный двигатель | Тун Юань | |
| Редуктор | Цзепай / Чэнда | |
| Электрическая система управления | ПЛК | Panasonic / Mitsubishi / Delta |
| Сенсорный экран | Touchwon / Weintek / Advantech | |
| Защита от перенапряжения | Автоматический выключатель утечки (Mean Well / Schneider) | |
| Источник питания постоянного тока | Импульсный источник питания (Mean Well / Schneider) | |
| Пневматическая система | Пневматический цилиндр | SMC / CKD / FESTO |
| Контроль давления | SMC / CKD / FESTO | |
| Регулирование давления | SMC / CKD / FESTO | |
| Индикация давления | SMC / CKD / FESTO | |
| Электромагнитный клапан | SMC / CKD / FESTO |
Подробная информация о товаре
Станок HY-WT9730 поддерживает обработку пластин диаметром до 12 дюймов. Оснащенный 3 шлифовальными шпинделями с пневматическими подшипниками и 4 шпинделями с пневматическими подшипниками для заготовок, он объединяет процессы черновой, тонкой шлифовки и полировки. Полностью роботизированный рабочий процесс автоматически выполняет перенос, обработку, очистку и выгрузку пластин; требуется только ручная подача кассет. Сверхточная подача по оси Z обеспечивает превосходную плоскостность пластин и зеркальную полировку без повреждений, а прочная рама гарантирует стабильное массовое производство.
HY-SP910 оснащен системой управления на базе ПЛК и сенсорного экрана, что обеспечивает простоту настройки, удобство эксплуатации и стабильную работу. Он выполняет сверхточную одностороннюю полировку тонких компонентов, поддерживая полупроводниковые подложки (сапфир, SiC, кремний и эпитаксиальные пластины), а также оптические стеклянные пластины, кварцевые кристаллы, керамические пластины, заготовки из нержавеющей стали и волоконно-оптические разъемы.
оставить сообщение
Отсканируйте QR-код для отправки в WeChat :
Отсканируйте в WhatsApp :
